[23p-P05-1~11] 6.2 カーボン系薄膜

[23p-P05-10] 低周波プラズマCVD法で作製したDLCの電気化学活性評価

〇(B)松崎 充晃¹、河上 瑛彦¹、長谷部 伸一¹、木川 啓太¹、久保 美希¹、向山 義治¹、平栗 健二¹、大越 康晴¹ (1.東京電機大学)

キーワード：非晶質炭素膜、化学電極、イオンセンサー

高感度なイオンセンサ用電極において広い電位窓と高い電気化学活性が求められる．ダイヤモンド状炭素膜（DLC: Diamond like carbon）は広い電位窓を有することからイオンセンサ用電極への応用が期待されている．しかし，DLCは電気化学活性が低いことが課題となっている．
一般的にDLCの成膜は，高周波（RF）プラズマプロセスが用いられる．低周波（LF）プラズマを用いたDLC成膜は，自己バイアスが高まることで，材料となるイオンの運動エネルギーが高くなる．その結果として膜質の変化を狙える．本研究では，DLCの電気化学活性向上を目的としてRFおよびLFプラズマCVD法にてDLC電極を作製し，電気化学活性を評価した．その結果，LF成膜による電気化学活性の向上が示唆された．