[23p-P05-1~11] 6.2 Carbon-based thin films

[23p-P05-9] Structural evaluation around wear track on a surface of diamond-like carbon film before and after sliding test

〇(M1)Sota Norizuki¹, Sarayut Tunmee², Chanan Euaruksakun², Ukit Rittihong², Keisuke Suzuki¹, Masashi Tomidokoro¹, Yuki Hirata¹, Naoto Otake¹, Hiroki Akasaka¹ (1.Tokyo Tech., 2.SLRI)

Keywords:DLC

ダイヤモンド状炭素(DLC)膜は低摩擦係数、耐摩耗性に優れ、固体潤滑材として用いられている．膜の摺動特性は膜の水素量や炭素のsp²/sp³結合比等の構造に依存し、摺動によりこれらの構造が変化すると考えられている．本研究では DLC膜を摺動試験し、摺動による膜のsp²/sp³比の局所的な構造変化をＸ線光電子顕微鏡 (X-PEEM) 像とX線吸収微細構造(NEXAFS)により評価した．