[23p-P05-1~11] 6.2 Carbon-based thin films

[23p-P05-8] Structural control and sliding characteristics of amorphous carbon films by laser irradiation

〇Dai Harada¹, Sarayut Tunmee², Yuko Aono¹, Chanan Euaruksakun², Ukit Rittihong², Yuki Hirata¹, Naoto Ohtake¹, Hiroki Akasaka¹ (1.Tokyo Inst. Tech., 2.Sync. Light Res. Inst.)

Keywords:Amorphous carbon, Laser irradiation

アモルファス炭素膜にレーザ照射する，表面でsp²結合炭素が増加する．グラファイトは固体潤滑材である為，sp²結合炭素も摺動性能向上に寄与すると考えられる^[1]．本研究はアモルファス炭素膜にパルスレーザをパターン照射し，照射域の炭素結合状態の変化を捉えると共にその摺動特性を評価した．