[24p-E106-1~18] 3.7 レーザープロセシング

[24p-E106-11] GHzバーストモードフェムト秒レーザーによる結晶シリコン表面への新奇表面微細構造の形成

〇(B)川端 祥太^1,2、小幡 孝太郎¹、白 石¹、宮地 悟代²、杉岡 幸次¹ (1.理研　光量子、2.東京農工大)

キーワード：レーザー誘起表面周期構造、GHzバーストモード、フェムト秒レーザー

近年、パルス間隔が数百psの超短パルス列から成るGHzバーストモードフェムト秒レーザーは、高品質・高効率の材料加工への応用が期待されている。本研究では、特異な加工特性を提供するGHzバーストモードフェムト秒レーザー加工をレーザー誘起表面周期構造(LIPSS)形成へと拡張し、シングルモードレーザーで形成したLIPSSとの比較を行うことにより、新しい表面ナノ周期構造形成の可能性を検討した。