[24p-E203-1~16] 23.1 合同セッションN「インフォマティクス応用」

[24p-E203-9] XPSシミュレータとベイズ推定を用いた試料構造の自動探索

〇篠塚 寛志¹、Siriwardana Malinda¹、永田 賢二¹、吉川 英樹¹、庄野 逸² (1.物材機構、2.電通大)

キーワード：X線光電子分光(XPS)、ベイズ推定、SESSA

内部構造を持つ試料の非破壊の断層解析のために、角度分解X線光電子分光法(ARXPS)がしばしば用いられる。本研究ではXPSシミュレータSESSAを介した逆問題システムを構築し、ARXPSデータから未知試料構造を推定するための手法を開発した。例として4層構造の試料を仮定した仮想実験により得た人工データに対して検証し、最適なパラメータが得られるだけでなく、ベイズ事後確率分布を介してそれらの推定精度も求められることを確かめた。