[24p-E204-1~10] 6.2 カーボン系薄膜

[24p-E204-3] 4面対向式スパッタによるDLC薄膜の特性

〇小林 風太¹、猿渡 哲也¹、馬渕 和之¹ (1.京浜ラムテック)

キーワード：水素フリーDLC、4面対向式スパッタリング

本講演は自社開発した4面対向式スパッタリングカソード(RAMカソード)を使用し、成膜した水素フリーDLCの特性を述べる。DCパルス電源を使用してガラス基板上にDLCを成膜した。基本特性としてラマン分光G-bandのピーク位置1546 cm^-1、鉛筆硬度7 H、表面平滑性Ra:0.16 nmの結果を得た。RAMカソードを使用し、成膜されたDLCの膜特性として平滑性と硬度の高さが挙げられる。