[25p-E104-1~21] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[25p-E104-8] 全固体Liイオン電池のためのプラズマスパッタリングLiAlGePO電解質膜のイオン導電率測定

〇内田 儀一郎^1,2、林 純希¹、羽生 侑真¹、永井 健太¹、木賀 海晴¹、山田 輝也¹ (1.名城大理工、2.名城大次世代エネセンター)

キーワード：2源プラズマスパッタリング、Li酸化物

不燃性固体電解質を用いた全固体Liイオン電池の開発が勢力的に推進されている。今回はGe材料を含有したLi酸化物である固体電解質、アルミニウム置換リン酸ゲルマニウムリチウム(LiAlGePO)の開発を、コンビナトリアル的手法を用いて行った。具体的には組成の異なるLiAlGePO薄膜をプラズマスパッタリング法で作製し、その構造およびイオン導電率を評価した。LiAlGePO薄膜は、1インチカソードを2つ有する2源スパッタリング法を用いて作製した。5枚の成膜基板を半径方向–30～30 mmの間に一列に配置し、1回のプロセスで5枚の基板に成膜を行った。PとGeの濃度勾配を逆方向とすることで、基板位置により、膜中P/Ge組成比を1.4～12の広範囲で制御した。各薄膜についてイオン導電率を交流インピーダンス計測により評価した結果、ある組成比で良好のイオン導電率が得られた。