[25p-F307-1~16] 6.4 薄膜新材料

△ [25p-F307-11] イオン液体アシスト法を用いたLiBH₄薄膜合成

〇(B)戸澤 拓海¹、風間 敦夫¹、丸山 伸伍²、松本 祐司²、大口 裕之¹ (1.芝浦工大工、2.東北大院工)

キーワード：イオン液体アシスト法

LiBH₄は全固体電池などの固体電解質として期待される材料である。赤外レーザー蒸着法によりLiBH₄エピタキシャル薄膜が合成されている。ただし、これまで得られた薄膜の結晶性は比較的低く、直径数百nm程度のドーム状の島が表面を覆っていたり、ターゲットに含まれる赤外吸収剤が膜へ混入したりしていた。本研究では、イオン液体(IL)アシスト成膜によりLiBH₄薄膜合成を行い、これらの欠点の改善を目指した。