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△ [25p-F307-15] 複合成膜により成膜された低屈折率Al2O3光学薄膜
キーワード：低屈折率光学薄膜、アルミナ膜、複合成膜
近年，電子機器の高性能化に伴い，光学部品に対する性能の向上が求められている．我々の研究室で開発された複合成膜手法を用いた先行研究では，複合成膜手法を用いて従来の低屈折率膜とは異なる実用的な機械的強度を持つ低屈折率光学薄膜の作製に成功している．本研究では，複合成膜を用いてDCパルススパッタリング法とEB法による成膜を同時に行うことで屈折率1.56程度の低屈折率Al2O3光学薄膜を成膜することができた．