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一般セッション(口頭講演)

6 薄膜・表面 » 6.4 薄膜新材料

[25p-F307-1~16] 6.4 薄膜新材料

2022年3月25日(金) 13:30 〜 18:00 F307 (F307)

田中勝久(京大)、土屋哲男(産総研)

14:30 〜 14:45

△ [25p-F307-5] CF₄支援スパッタ法によるLa_1-xBa_xF_3-xエピタキシャル薄膜作製

〇深津圭佑¹、清水亮太¹、Xin Dai¹、小林成¹、西尾和記¹、一杉太郎¹ (1.東工大物質理工)

キーワード：金属フッ化物薄膜、エピタキシャル薄膜、全固体電池