11:00 〜 11:15 [15a-A301-7] 4H-SiC中の単一ショックレー型積層欠陥の拡張速度に与える基底面転位構造の影響 〇西尾 譲司1、太田 千春1、飯島 良介1 (1.東芝研開センター)