09:30 〜 11:30 [17a-PB01-19] コスパッタ材料としてCaOおよびCaF2を用いたCa添加In2O3 TFTの作製と評価 〇(M1)野寺 歩夢1、森 峻1、相川 慎也1 (1.工学院大)