10:15 〜 10:30 [16a-D411-3] 微細加工技術を用いた薄膜型熱電デバイスの開発 〇大久保 勇男1、村田 正行2、大井 暁彦1、Mariana S. Lima1,3、櫻井 岳暁3、相澤 俊1、森 孝雄1 (1.物材機構、2.産総研、3.筑波大)