16:45 〜 17:00 △ [18p-E102-13] 形状パラメータ最適化による高感度MEMS表面応力ガスセンサ 〇十亀 龍星1、阪上 天斗1、崔 容俊1、野田 俊彦1、澤田 和明1、高橋 一浩1 (1.豊橋技科大工)