13:30 〜 15:30 [16p-PA03-4] センサ応用に向けたPOF表面のドライエッチング技術の検討 〇中島 遼1、中西 拓登1、李 ひよん2、水野 洋輔3、山根 大輔1 (1.立命館大、2.芝浦工大、3.横浜国大)