15:45 〜 16:00 [16p-B409-8] 横方向電圧印可電界吸収型変調器のためのプロトンイオン多段注入特性 〇(M2)厚木 開里1、黄 海東1、松島 裕一1、石川 浩1、宇高 勝之1 (1.早稲田大学)