09:00 〜 09:15 [17a-A205-1] パルスレーザー堆積法により作製したSiCN薄膜の機械的特性に及ぼす窒素ガス圧と基板温度の効果 〇(B)竹中 達貴1、青井 芳史1、野瀬 正照2 (1.龍谷大理工、2.富山大)