13:30 〜 15:30 [15p-PB03-14] TMVSを原料として作製したSiO:CH微粒子堆積膜のRF出力依存性 〇中泉 有稀1、井上 泰志1、高井 治2 (1.千葉工大院工、2.関東学院大材料表面研)