細井卓治

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発表者・著者、共著者

2023年3月16日(木) 16:00 〜 17:30 A301 (6号館)

一般セッション(口頭講演)
| 13 半導体
| 13.7 化合物及びパワーデバイス・プロセス技術・評価

[16p-A301-7~12] 13.7 化合物及びパワーデバイス・プロセス技術・評価

16:15 〜 16:30

[16p-A301-8] 4H-SiC(0001)表面のCO₂雰囲気中熱酸化機構に関する考察

出口竜大¹、〇細井卓治¹ (1.関学大工)