2023年第70回応用物理学会春季学術講演会

後藤 正英

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座長等

2023年3月17日(金) 13:30 〜 17:00 E502 (12号館)

  • シンポジウム(口頭講演)
  • | シンポジウム
  • | withコロナ時代に資するMEMS・微細加工技術の動向と展望

[17p-E502-1~9] withコロナ時代に資するMEMS・微細加工技術の動向と展望

後藤 正英(NHK技研)、竹下 俊弘(産総研)、島村 俊重(NTT)