[15a-A409-1~6] 6.3 酸化物エレクトロニクス

△ [15a-A409-1] 新規熱電材料創製に向けた不純物添加非晶質酸化バナジウム系薄膜のUV光照射等による構造・ 電気特性制御

〇(M1)大澤 樹¹、庄司 拓貴¹、金子 健太¹、金子 智^2,1、松田 晃史¹、吉本 護¹ (1.東工大物質理工、2.神奈川産技総研)

キーワード：半導体、非晶質、紫外光

酸化バナジウムはガラス網目形成酸化物として知られ、ガラス中の異なる価数のVイオン間のホッピング伝導による導電性を示す。本研究では、低熱伝導率な非晶質状態でありながら、電気伝導性のある酸化バナジウムを熱電変換材料として応用することを目的に、紫外光照射等による電気特性制御を検討した。その結果、KrFエキシマレーザーの照射によって、酸化バナジウムの化学状態変化を伴う、3桁程度の抵抗値低減が確認された。