[15a-E102-1~10] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

△ [15a-E102-7] エアロゾルデポジション法で作製した酸化亜鉛薄膜の熱処理による電気特性変化に関する研究

〇鄭 雨萌¹、鳥山 翔生¹、佐藤 祐喜¹、吉門 進三¹ (1.同志社大)

キーワード：酸化亜鉛、非線形性電圧電流特性、エアロゾルデポジション法

近年、電子デバイスの静電気保護対策として、低電圧で応答速度の速いの小型バリスタが求められている。特にリチウムイオン電池(単セル電圧範囲2.7～4.2V)に適したバリスタが、従来の積層バリスタでは限界電圧が8V程度となり、適用が困難である。本研究では，短時間で膜厚が大きくピンホールのない緻密な薄膜を形成することができるエアロゾルデポジション法(AD)により、低電圧薄膜酸化亜鉛バリスタを作製することを目指す。