2023年第70回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.6 IV族系化合物(SiC)

[15p-A301-1~13] 15.6 IV族系化合物(SiC)

2023年3月15日(水) 13:00 〜 16:45 A301 (6号館)

三谷 武志(産総研)、浅水 啓州(ローム)

15:15 〜 15:30

[15p-A301-8] トランジスタ構造を用いて導出した4H-SiCの真性キャリア密度

浅田 聡志1、村田 晃一1、土田 秀一1 (1.電中研)

キーワード:炭化ケイ素、真性キャリア密度