2023年第70回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

6 薄膜・表面 » 6.2 カーボン系薄膜

[15p-A408-1~14] 6.2 カーボン系薄膜

2023年3月15日(水) 13:00 〜 16:45 A408 (6号館)

神田 一浩(兵庫県立大)、針谷 達(豊橋技科大)

14:30 〜 14:45

[15p-A408-7] DLC膜の軟X線照射効果

〇(M1)三嶋 友博1、森田 恭司1、中西 康次1、神田 一浩1、赤坂 大樹2 (1.兵県大高度研、2.東工大工)

キーワード:ダイヤモンドライクカーボン