[15p-D209-1~12] 7.2 電子ビーム応用

[15p-D209-12] 通常より低い加熱温度でのLaB₆熱電子銃の平均輝度およびリチャードソン定数の推定

〇岡田 風杜¹、梶田 寵太郎¹、村田 英一¹、田中 崇之¹、六田 英治¹ (1.名城大理工)

キーワード：平均輝度、リチャードソン定数、六ホウ化ランタン

次世代の電子線リソグラフィー装置や電子顕微鏡の性能向上のため、高性能電子源が必要不可欠である。これの実現のために（1）高輝度・大電流の同時達成、（2）長寿命化、（3）放出電流の高安定性の条件を満たす電子銃を開発することが重要である。我々はこれまで、上記の条件を満たす六ホウ化ランタン（LaB₆）を用いた電子源の開発を行ってきた。昨年の研究では、温度によって仕事関数が異なることを確認した[1]。今回は、さらに実験を進めると共に、実験条件と同様なシミュレーションを行い、平均輝度とリチャードソン定数の推定を行ったので報告する。