[15p-D209-1~12] 7.2 Applications and technologies of electron beams

[15p-D209-2] In-situ high-resolution STEM observation of samples in environmental cells

〇Masaki Takeguchi¹, Toshiaki Takei¹, Kazutaka Mitsuishi¹ (1.NIMS)

Keywords:Environmental cell, Electron Microscopy

自作した環境セルにおいてカーボン蒸着によってチャージアップの影響を低減し、収差補正STEMによってセル内の試料の原子分解能構造観察を可能とした。水中のPt薄膜は激しく構造を変化させたが、真空中では構造変化はほとんどなく、空気中ではゆっくりと構造を変化させていく様子が捉えられた。