[15p-D511-1~11] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[15p-D511-9] シリコン結晶基板の品質と点欠陥(9) Avogadro crystalの格子定数と炭素濃度分布

〇井上 直久¹、川又 修一¹、奥田 修一¹ (1.大阪公立大　放射線センター)

キーワード：シリコン結晶、格子定数、炭素

Avogadro crystalの格子定数分布の超精密測定から炭素濃度分布を解析した。赤外吸収による平均濃度1015/cm³では最低濃度は約10¹⁴、最高濃度は5x10¹⁵cm³と見積もられた。低濃度領域の値は無炭素結晶の格子定数と見なせ絶対値を求められれば濃度測定と換算係数の誤差を除ける。実際の分布についてSIMS profileを得ることが望まれ、偏析現象の理解が深まる。SIMSの平均濃度測定の信頼性に注意する必要がある。