[15p-PA02-1~12] 8 プラズマエレクトロニクス（ポスター）

[15p-PA02-4] アセチレンプラズマを用いた膜堆積におけるプラズマ供給電力の効果

中居 辰也¹、桒田 篤哉¹、大石 侑叶¹、佐々本 凌¹、〇篠原 正典¹、田中 諭志²、松本 貴士² (1.福岡大、2.東京エレクトロン テクノロジーソリューションズ)

キーワード：アモルファス炭素膜、化学結合状態、供給電力

RF電力をかえてアセチレンプラズマを生成し、室温程度の基板温度で浮遊電位の基板上に、膜を堆積し膜中の化学結合状態をMIR-IRASで調べた。RF電力が増大すると、sp3結合の炭化水素成分が減少し、C=C結合量が増大すると考えられる。