16:00 〜 18:00 [15p-PA02-4] アセチレンプラズマを用いた膜堆積におけるプラズマ供給電力の効果 中居 辰也1、桒田 篤哉1、大石 侑叶1、佐々本 凌1、〇篠原 正典1、田中 諭志2、松本 貴士2 (1.福岡大、2.東京エレクトロン テクノロジーソリューションズ)