[15p-PA03-1~18] 12.1 作製・構造制御

[15p-PA03-12] 溶液塗布熱分解法による酸化バナジウム薄膜の作製と高感度pHセンサー応用

〇(B)楯 凱貴¹、道端 涼¹、牧野 賀成¹、広藤 裕一¹、小池 一歩¹、廣芝 伸哉¹ (1.大阪工大ナノ材研)

キーワード：バイオセンサー、酸化バナジウム、拡張ゲート型FET

我々は人間の汗や涙などの体液の組成を高感度で測定可能なセンサーの開発を目指している．本研究ではバイオセンサーの基礎となるセンサー材料として酸化バナジウムに注目した．酸化バナジウム薄膜を拡張ゲート(EG)電極に用いたnチャネルMOSFETによるEGFET型pHセンサーを試作した．また，試作したEGFET型pHセンサーのpH変化に対する応答を調査したので詳細について報告する．