[16a-B410-1~9] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

△ [16a-B410-3] 単結晶金微小カンチレバーの曲げ強度に対する断面積の影響

〇(M1)保里 亮平¹、藤田 一矢¹、Chun-Yi Chen¹、栗岡 智行¹、Tso-Fu Mark Chang¹、Parthojit Chakraborty¹、町田 克之¹、伊藤 浩之¹、三宅 美博¹、曽根 正人¹ (1.東工大)

キーワード：サイズ効果、断面積、曲げ

MEMS加速度センサの高感度化のためにAuの使用が提案されている。しかし、Au材料を用いる場合、その機械強度が実用的な課題となる。また、マイクロスケールの金属材料を用いる場合、その機械強度がバルク状態に比べて向上するサンプルサイズ効果の考慮が必要であり、そのためマイクロスケールAu材料の機械的特性評価が重要である。本研究では、単結晶金微小カンチレバーの曲げ変形に対する、その断面積の影響を調査した。