[16a-D405-1~8] 6.6 Probe Microscopy

[16a-D405-7] FM-EFM under distance control by amplitude feedback

〇Ryota Fukuzawa¹, Daichi Kobayashi¹, Takuji Takahashi^1,2 (1.IIS, Univ. of Tokyo, 2.NanoQuine)

Keywords:Atomic force microscopy, Interface states

通常の周波数変調型静電引力顕微鏡法 (FM-EFM) では、探針-試料間距離の制御をカンチレバーの共振周波数変化が一定となるようにフェードバックすることで行われているため、静電気力測定と形状測定とを完全には分離できないという問題があった。我々は、発振状態にあるカンチレバーが試料表面に接触した際の振幅変化量を距離制御に用いることで、形状および静電気力測定の正確性が向上することを確認した。