[16p-A302-1~8] マイクロ・ナノスケール微細加工の表面界面先端技術

[16p-A302-2] ３次元リソグラフィ技術を用いたメカニカルメタマテリアル発電

〇鈴木 孝明¹ (1.群馬大学理工)

キーワード：環境発電、メカニカルメタマテリアル、フォトリソグラフィ

従来加工技術におけるマイクロメートルオーダーからミリメートルオーダーの間の空白領域へアプローチする方法として、3次元リソグラフィ技術を提案し、ポリマーMEMS応用を進めている。本講演では、① 3次元リソグラフィ技術、②その加工技術を用いて作製したメカニカルメタマテリアル構造体、さらに、③メタマテリアルを組み込んだ圧電ポリマー振動型と摩擦帯電型の発電素子への応用について紹介する。