[16p-A502-1~14] 3.7 光計測技術・機器（旧3.8）

△ [16p-A502-6] 位相シフト補正を備えたストロボ微分干渉顕微鏡法を用いたMEMSデバイスの面外運動の測定

〇飯森 未来¹、張 亜¹ (1.農工大工)

キーワード：MEMS、共振器、微分干渉顕微鏡

我々は微小電気機械システム(MEMS)共振器の共振特性を研究するために、ストロボスコープ型微分干渉（DIC）顕微鏡を開発した。DIC顕微鏡は試料表面での光量変化を測定し2次元振動を観察できる。しかし、光量変化はMEMS共振器の表面形状に大きく影響されるため、振動面のたわみを正確に測定することは困難である。本研究では、位相差補正を備えたストロボスコープDIC顕微鏡を用いて、MEMS振動子の振動面たわみを測定する方法について報告する。