[16p-D221-1~11] 11.2 Thin and thick superconducting films, coated conductors and film crystal growth

[16p-D221-9] Change in Laser Plume Image of YBCO Thin Films Prepared by PLD Method with Respect to Composition Change

〇Shuntaro Yamazaki¹, Tomoki Osada¹, Yusuke Ichino², Yutaka Yoshida¹ (1.Nagoya Univ., 2.Aichi Inst. of Technol.)

Keywords:superconductor

Pulsed Laser Deposition(PLD)法とは、強力なパルスレーザーをターゲットに照射することで構成物質をプラズマ化させ、それを対向する基板上に堆積させることで製膜を行う手法である。このときターゲット上にはプルームと呼ばれるプラズマ発光体が出現し、我々はデジタルカメラでの撮影によってこのプルーム画像を取得することで機械学習のデータとして活用することをを考えた。今回はその基礎検討として、異なる組成比を持ったYBCOタ ーゲットのプルーム像を撮影し解析した結果について報告する。