2023年第70回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

11 超伝導 » 11.2 薄膜,厚膜,テープ作製プロセスおよび結晶成長

[16p-D221-1~11] 11.2 薄膜,厚膜,テープ作製プロセスおよび結晶成長

2023年3月16日(木) 14:00 〜 17:15 D221 (11号館)

尾崎 壽紀(関西学院大)、一野 祐亮(愛工大)、元木 貴則(青学大)

16:30 〜 16:45

[16p-D221-9] PLD法で作製したYBCO薄膜の組成変化に対するレーザープルーム像の変化

山崎 春太朗1、長田 智樹1、一野 祐亮2、吉田 隆1 (1.名大工、2.愛工大)

キーワード:超伝導

Pulsed Laser Deposition(PLD)法とは、強力なパルスレーザーをターゲットに照射することで構成物質をプラズマ化させ、それを対向する基板上に堆積させることで製膜を行う手法である。このときターゲット上にはプルームと呼ばれるプラズマ発光体が出現し、我々はデジタルカメラでの撮影によってこのプルーム画像を取得することで機械学習のデータとして活用することをを考えた。今回はその基礎検討として、異なる組成比を持ったYBCOタ ーゲットのプルーム像を撮影し解析した結果について報告する。