[16p-E302-1~10] 究極のラボ・オートメーション：半導体ギガFabを実験用巨大ロボットとして動かせるか？

[16p-E302-9] パネルディスカッション

〇秋永 広幸¹、三河 巧²、青野 真士³、小林 俊英⁴、本告 陽一⁵、天野 英晴⁶、一杉 太郎⁷、藤田 博之⁸、高橋 恒一⁹、池田 修二¹⁰ (1.産総研、2.SCREENセミコンダクタ、3.Amoeba Energy、4.産業タイムズ、5.村田機械、6.慶大、7.東大、8.東京都市大、9.理研、10.tei solutions)

キーワード：半導体、ギガFab、ラボ・オートメーション