[16p-PA03-1~6] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

[16p-PA03-6] 放射状に旋回戻りコイルを形成したMEMSロゴスキーコイル型電流センサ

〇渡部 善幸¹、加藤 睦人¹、矢作 徹¹、村山 裕紀¹、山田 直也¹、吉田 一樹¹、吉田 賢一²、前原 謙一²、野間 真樹子²、指田 和之²、保木 渉馬²、池田 克弥²、竹森 俊之² (1.山形工技セ、2.新電元工業)

キーワード：MEMS、ロゴスキーコイル、電流センサ

放射状に形成したTSV構造のMEMSロゴスキーコイル型電流センサを作製した。時計回りに基板断面内で旋回するコイルを形成し、終端から反時計回りに旋回しながら戻りコイルを形成することで、電流検出と外部磁界キャンセルを同時に行う構造とした。di/dtを10A/μs一定としてピーク電流を200Aまで変化させた評価、およびピーク電流を200A一定としてdi/dtを50A/μsまで変化させた評価のいずれにおいても、印加電流に対して比例して出力が得られることを確認した。