[16p-PA04-1~24] 13.7 化合物及びパワーデバイス・プロセス技術・評価

[16p-PA04-19] Agナノインクより作製したAg/Siショットキーバリアダイオード：焼成条件がダイオード特性に及ぼす影響

〇斉藤 大志¹、玉井 聡行¹ (1.大阪技術研)

キーワード：銀ナノ粒子、ショットキーバリアダイオード、ナノインク

印刷で電子回路を形成するプリンテッドエレクトロニクスにおいて、半導体上への電極形成用途では、印刷電極と半導体間における電気的接触の評価が重要となる。本研究では、Agナノインクを用いてSiウエハ上にAg/Siショットキー接触を作製し、Ag電極を形成する際の焼成条件が作製したデバイスの電気特性に与える影響について検討を行った。デバイスのI–V特性は典型的なショットキー接触の挙動を示し、ダイオード方程式を用いた解析からAg/Si接触におけるショットキーパラメーターを算出した。