[17a-A305-1~9] 3.11 ナノ領域光科学･近接場光学（旧3.12）

[17a-A305-1] アンギュラースペクトルを用いたプラズモニックナノスリット近接場光の逆解析

〇岩下 智洋¹、松尾 涼平¹、鍾 莎¹、伊藤 治彦¹ (1.東工大工学院)

キーワード：近接場光

SNOMで得られる近接場光強度分布からナノ構造断面の寸法を非破壊的に計測する手法の開発を進めている．金属ナノスリットに励起した表面プラズモンに伴うダブルピーク近接場光の強度分布をアンギュラースペクトルによって表し，ピーク位置をロンバーグ解析から数値的に求めた．スリットのエッジ曲率半径とピーク位置には強い相関があり，SNOMによりピーク間距離を調べれば，曲率半径を高精度で評価できる．