[17a-D419-1~12] 6.4 薄膜新材料

△ [17a-D419-7] ナノインプリント法およびパルスレーザー堆積を用いたポリマー表面上への金属ナノ粒子周期パターン形成

〇島田 侑果¹、前田 優斗¹、大賀 友瑛¹、金子 智^2,1、吉本 護¹、松田 晃史¹ (1.東工大　物質理工、2.神奈川産技総研)

キーワード：ナノインプリント、パルスレーザー堆積、周期パターン

金属ナノ粒子の微細周期配列パターンをポリマーシート表面に作製することにより、生体分子観察やバイオセンサー基板などのフレキシブル性が求められる環境での応用が期待できる。本研究では、微細自己組織化モールドを用いたナノインプリント法によるポリイミド基板上へのナノ周期パターン転写ならびに薄膜合成による金属ナノ粒子微細周期パターン形成を検討した。