[17a-PA01-1~7] 7 ビーム応用（ポスター）

[17a-PA01-2] ニュースバルX線リソグラフィーによる微細構造体作成

〇天野 壯¹、渡部 太希¹、伊澤 伸哉¹、玉田 幸造¹、山崎 徹¹、山口 明啓¹、内海 裕一¹ (1.兵庫県大高度研)

キーワード：X線リソグラフィー

兵庫県立大学・高度産業科学技術研究所は電子蓄積エネルギー1~1.5 GeVの放射光施設「ニュースバル」を有し、これを用いたマイクロパーツ製造のためのディープX線リソグラフィー研究を行っている。最近の研究成果として１）ネブライザー用フィルター２）空中像投影素子３）高耐力マイクロギヤ・タービンの３つの微細構造体について報告する。