2023年第70回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

21 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」 » 21.1 合同セッションK 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[17a-PB01-1~25] 21.1 合同セッションK 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

2023年3月17日(金) 09:30 〜 11:30 PB01 (ポスター)

09:30 〜 11:30

[17a-PB01-19] コスパッタ材料としてCaOおよびCaF2を用いたCa添加In2O3 TFTの作製と評価

〇(M1)野寺 歩夢1、森 峻1、相川 慎也1 (1.工学院大)

キーワード:薄膜トランジスタ、酸化インジウム、コスパッタ