09:30 〜 11:30
[17a-PB01-19] コスパッタ材料としてCaOおよびCaF2を用いたCa添加In2O3 TFTの作製と評価
キーワード:薄膜トランジスタ、酸化インジウム、コスパッタ
一般セッション(ポスター講演)
21 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」 » 21.1 合同セッションK 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」
2023年3月17日(金) 09:30 〜 11:30 PB01 (ポスター)
09:30 〜 11:30
キーワード:薄膜トランジスタ、酸化インジウム、コスパッタ