飽和蒸気圧水で AlN を処理することにより形成された変質層の解析

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15 結晶工学 » 15.4 III-V族窒化物結晶

[17p-B401-1~15] 15.4 III-V族窒化物結晶

2023年3月17日(金) 13:15 〜 17:30 B401 (2号館)

13:30 〜 13:45

〇(M1)松原衣里¹、長谷川亮太¹、西林到真¹、薮谷步武¹、山田凌矢¹、近藤涼輔¹、岩山章^1,2、岩谷素顕¹、竹内哲也¹、上山智¹、熊谷慎也¹、丸山隆浩¹、小林信太郎³、山本泰司³、三宅秀人² (1.名城大学理工、2.三重大・院・工、3.(株)リガク)

キーワード：AlGaN、AlN