[17p-D505-1~11] 1.6 超音波

△ [17p-D505-4] スパッタ成膜時の粒子照射制限によるc軸平行配向ZnO膜の大面積成膜

〇冨山 直樹¹、佐藤 大樹¹、高柳 真司¹、柳谷 隆彦² (1.同志社大、2.早稲田大)

キーワード：酸化亜鉛、圧電薄膜、厚みすべりモード