14:15 〜 14:30 △ [17p-D505-4] スパッタ成膜時の粒子照射制限によるc軸平行配向ZnO膜の大面積成膜 〇冨山 直樹1、佐藤 大樹1、高柳 真司1、柳谷 隆彦2 (1.同志社大、2.早稲田大)