[18a-A405-1~9] 3.6 レーザープロセシング（旧3.7）

[18a-A405-6] SiC上のFe/Cr/Ni 積層膜へのフェムト秒レーザー照射

〇古市 健人¹、山口 誠²、岡田 達也¹、富田 卓朗¹ (1.徳島大理工、2.秋田大理工)

キーワード：フェムト秒レーザー

フェムト秒レーザー光照射特有の非熱加工が透明基板上の金属薄膜に及ぼす影響について研究を行った。透明基板であるSiC上にFe/Cr/Ni積層膜を作製し、SiC/金属界面に焦点を合わせフェムト秒レーザー光照射を行った。照射箇所の断面を透過型電子顕微鏡を用いて観察を行うことで、レーザー光照射による金属薄膜の変化を調査した。