[18a-A405-1~9] 3.6 レーザープロセシング（旧3.7）

[18a-A405-7] 鉄/クロム/ニッケル薄膜へのピコ秒レーザー照射による新奇合金生成のパルス時間幅依存性

〇河野 太洋¹、土屋 叡本²、山口 誠³、岡田 達也¹、小林 洋平²、富田 卓朗¹ (1.徳島大理工、2.東大物性研、3.秋田大理工)

キーワード：フェムト秒レーザー、ピコ秒レーザー、合金

ピコ秒レーザー照射を新奇金属合金化手法に応用する可能性を研究した。透明材料である窒化ガリウム(GaN)上に、鉄/クロム/ニッケルを積層し、鉄/ GaN界面に対して、ピコ秒レーザー光を照射した。ピコ秒レーザー照射部断面に対して、走査透過電子顕微鏡でエネルギー分散型X線分光分析を行った。ここで、Fe、Cr、Niが原子オーダーで混在化されるか調査し、ピコ秒レーザー照射による合金生成を研究した。