[18a-D209-1~14] 1.5 計測技術・計測標準

[18a-D209-5] 小型CRDS微量水分計を用いたHeガス中の微量水分計測

〇阿部 恒¹、天野 みなみ¹、橋口 幸治¹、リサク ダニエル²、本田 真一³、三宅 伴季³ (1.産総研、2.コペルニクス大、3.神栄テクノロジー(株))

キーワード：湿度、半導体

キャビティリングダウン分光法(CRDS)は光共振器を用いた超高感度なレーザー吸収分光法である。さまざまな計測現場でこの手法をより活用しやくするため、私たちはCRDSの小型化の研究を行っている。小型化に伴う課題の一つに分解能の低下があり、これによって線幅の細い吸収線では測定が困難となる。この問題に対応するため、キャビティ長を熱膨張・収縮によって変化させ、共振周波数を周波数軸上で変化させることで分解能を向上させた。