2023年第70回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

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[18a-D209-1~14] 1.5 計測技術・計測標準

2023年3月18日(土) 09:00 〜 12:30 D209 (11号館)

寺崎 正(産総研)

10:15 〜 10:30

[18a-D209-6] 多種ガス用微量水分発生装置を用いた高速スキャンCRDS微量水分計の性能評価

天野 みなみ1、阿部 恒1、西澤 典彦2、富田 英生2 (1.産総研、2.名大)

キーワード:キャビティリングダウン分光法、湿度、微量水分

レーザの駆動電流を素早く変化させて周波数を掃引する高速スキャンCRDS微量水分計を開発し、10 ppb〜5 ppmのN2中微量水分の測定性能を標準に基づいて評価した。本発表では、高速スキャンCRDS微量水分計の概要、標準値と測定値の詳細な比較、周波数掃引条件の最適化などについて述べる。