10:15 〜 10:30
[18a-D209-6] 多種ガス用微量水分発生装置を用いた高速スキャンCRDS微量水分計の性能評価
キーワード:キャビティリングダウン分光法、湿度、微量水分
レーザの駆動電流を素早く変化させて周波数を掃引する高速スキャンCRDS微量水分計を開発し、10 ppb〜5 ppmのN2中微量水分の測定性能を標準に基づいて評価した。本発表では、高速スキャンCRDS微量水分計の概要、標準値と測定値の詳細な比較、周波数掃引条件の最適化などについて述べる。
一般セッション(口頭講演)
1 応用物理学一般 » 1.5 計測技術・計測標準
2023年3月18日(土) 09:00 〜 12:30 D209 (11号館)
寺崎 正(産総研)
10:15 〜 10:30
キーワード:キャビティリングダウン分光法、湿度、微量水分